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Top Page & What's New 2023

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E. Yokoyama, M. Sanekata*, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, and F. Misaizu
"Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium"
Jpn. J. Appl. Phys.(JJAP) Special Issue "Plasma Processing (ICRP2022)", 62, SL1008 (7 pages), 2023.
DOI:10.35848/1347-4065/acce42

(2023”N5ŒŽ17“ú‹Lj

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(2023”N4ŒŽ4“ú‹Lj


Top Page & What's New 2022

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(2023”N3ŒŽ24“ú‹Lj

HiPIMS Today 2023

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(2023”N3ŒŽ26“ú‹Lj

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(2023”N3ŒŽ22“ú‹Lj

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(2023”N2ŒŽ6“ú‹Lj

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(2023”N1ŒŽ26“ú‹Lj

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(2022”N12ŒŽ27“ú‹Lj

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(2022”N12ŒŽ20“ú‹Lj

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(2022”N10ŒŽ2“ú‹Lj

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(2022”N9ŒŽ26“ú‹Lj

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(2022”N9ŒŽ16“ú‹Lj

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(2022”N9ŒŽ12“ú‹Lj

‚š‚©‚Š‚è & Thanks‹Ê–ØŒNI

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(2022”N8ŒŽ17“ú‹Lj

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(2022”N7ŒŽ23“ú‹Lj

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M. Sanekata*, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu
"Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium"
Journal of Applied Physics, 131(24), 243301 (7 pages), 2022
DOI:10.1063/5.0089592

(2022”N6ŒŽ23“ú‹Lj

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Š1:J. T. Gudmundsson et al., J. Vac. Sci. Tecnol. A 30(3), 030801 (2012).
Š2:M. Sanekata et al. Plasma 4(2), pp.269-280 (2021).
Š3:ˆÉ“¡Œõ’jæ¶(Ž„‚̍ŏ‰‚̐搶‚̐搶‚Å‚ ‚è‚Ü‚·), gŽ„‚̃‰ƒ}ƒ“h, •ªŒõŒ€‹† 38(4), pp.255-258 (1989).

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“ú–{Ž¿—Ê•ªÍŠw‰ïŽ (Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan), 70(1), pp.30-35, 2022
DOI:10.5702/massspec.S22-06

(2022”N3ŒŽ12“ú‹Lj

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(2022”N3ŒŽ7“ú‹Lj

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HiPIMS Today 2022

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(2022”N1ŒŽ29“ú‹Lj

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"Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)"
Plasma, 4(2), pp.269-280, 2021
DOI:10.3390/plasma4020018

(2021”N5ŒŽ21“ú‹Lj

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M. Sanekata*, H. Nishida, T. Watabe, Y. Nakagomi, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, N. Hirata, K. Tsukamoto, K. Ohshimo, F. Misaizu, and K. Fuke
"Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)"
Plasma, 4(2), pp.239-251, 2021
DOI:10.3390/plasma4020016

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Top Page & What's New 2020

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(2021”N3ŒŽ18“ú‹Lj

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(2021”N3ŒŽ5“ú‹Lj

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(2021”N2ŒŽ9“ú‹Lj

HiPIMS Today

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(2020”N12ŒŽ25“ú‹Lj

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(2020”N12ŒŽ23“ú‹Lj

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(2020”N12ŒŽ14“ú‹Lj

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(2020”N8ŒŽ29“ú‹Lj

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"Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering of titanium"
Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 59 SHHB05 (6 pages), 2020
DOI:10.35848/1347-4065/ab71de

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(2019”N12ŒŽ7“ú‹Lj

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(2019”N9ŒŽ5“ú‹Lj

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(2019”N9ŒŽ5“ú‹Lj

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(2019”N7ŒŽ30“ú‹Lj

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(2019”N7ŒŽ22“ú‹Lj

‘Û‰ï‹cXXXIV ICPIG&ICRP-10—ŽD–y‚ÅŒ€‹†”­•\

The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)(‘æ34‰ñ“d—£‹C‘ÌŒ»Û‘Û‰ï‹ciXXXIV ICPIGj/ ‘æ10‰ñ”œ‰ž«ƒvƒ‰ƒYƒ}‘Û‰ï‹ciICRP-10) —ŽD–yŽs‹³ˆç•¶‰»‰ïŠÙj‚ł̌€‹†”­•\‚Ì‚œ‚ß7ŒŽ15“úiŒŽjA16“ú(‰Î)‚ÆŽD–y‚ɏo’£‚³‚¹‚Ä’ž‚«‚Ü‚µ‚œB ŽD–y‚É’…‚¢‚œ‰“úAHiPIMS‚ÌŒ€‹†‚Å’N‚à‚ª•K‚žˆø—p‚·‚éuHiPIMS‚Ìmap}v‚ð•`‚¢‚œ‘à‚ðŽ·•M‚³‚ꂜ’˜–Œ‚ȃAƒCƒXƒ‰ƒ“ƒh‘å^ƒXƒEƒF[ƒfƒ“‰€—§H‰È‘å‚ÌJ.T.ƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“(Prof. Gudmundsson)æ¶Ž©‚炪ƒ|ƒXƒ^[”­•\‚ð‚³‚ê‚Ä‚¢‚œ‚̂ŁiŽÊ^3jAŽ©•ª‚œ‚¿‚ÌŒ€‹†ƒOƒ‹[ƒv‚ō¡˜b‘è‚Æ‚È‚Á‚Ä‚¢‚鎩ŒÈƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒO‚ƃKƒXƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚ɂ‚¢‚ÄHiPIMS‚̑דl‚œ‚鐿¶‚É’ŒÚ‹^–â‚ð‚šŽf‚¢‚Å‚«‚éK‰^‚͂܂œ‚ƂȂ¢‚ÆŽv‚¢A‚¢‚ë‚¢‚ë‚ÆƒvƒŠƒ~ƒeƒBƒu‚È‚²Ž¿–â‚ð‚³‚¹‚Ä’ž‚«‚Ü‚µ‚œB ƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æ¶‚́A¡‰ñ‚Ì”­•\‚ŁuHiPIMS‚Ìmap}v‚Ɉø‚«‘±‚«AV‚œ‚ɁuƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚Ìmap}v‚ð’ñˆÄ‚³‚êAŽ©ŒÈƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒO—Š‚Ì‘å‚«‚³‚ɉž‚¶‚œƒ^[ƒQƒbƒg‚̃Xƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO“Á«‚ðˆê–Ú—Ä‘R‚©‚‰æŠú“I‚È‘Š}‚Å•\‚»‚€‚Æ‚³‚ê‚Ä‚¢‚Ü‚µ‚œB ‚±‚Ì“ú‚́AŽ©•ª‚œ‚¿‚ÌŒ€‹†ƒOƒ‹[ƒv‚ÌŽÀŒ±‚Å•ú“d“d—¬‚Ì‘‰Á‚ƂƂà‚ÉArƒCƒIƒ“‚Ì‹­“xiƒCƒIƒ“‹­“x‚š‚æ‚Ñ”­Œõ‹­“xj‚ª‘‚·‚±‚ƂɃXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚ªŠÖŒW‚µ‚Ä‚¢‚é‚©‚à‚µ‚ê‚È‚¢A‚Æ‚¢‚€Ž©•ª‚œ‚¿‚̍l‚Š‚ðƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æ¶‚É‚š˜b‚³‚¹‚Ä’ž‚«Au‚º‚ЁA—‚“ú‚ÌŽ©•ª‚ÌŒ€‹†”­•\‚ð’®‚«‚É—ˆ‚Ä‚­‚Ÿ‚³‚¢Iv‚Æ‚šŠè‚¢‚µ‚œŽŸ‘æ‚Å‚·B —‚“úAŽ©•ª‚̃|ƒXƒ^[”­•\‚ɃOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æ¶‚Í—ˆ‚Ä‚­‚Ÿ‚³‚èA30•ª‹ß‚­‚à‚š˜b‚³‚¹‚Ä’ž‚«‚Ü‚µ‚œi‘Š•Ï‚í‚ç‚žŽ©•ª‚ÌŒêŠw—͂͂Ђǂ¢‚à‚̂ł·‚ªAƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æ¶‚Í‚»‚ñ‚ÈŽ©•ª‚É‚à’š”J‚É‚š˜b‚µ‚­‚Ÿ‚³‚¢‚Ü‚µ‚œBœ‚ÉŠŽŽÓI)B–£—Í“I‚ÅŽŠŽˆì‚ê‚邲•ŒŸ‚𑜐”‚š—^‚Š‚­‚Ÿ‚³‚¢‚Ü‚µ‚œB‚ ‚肪‚Æ‚€‚²‚Ž‚¢‚Ü‚µ‚œB ‚»‚Ì‘Œ‚É‚à‘“àŠO‚ð–â‚킞‘œ”‚̐搶‚ª‚š˜b‚ð•·‚«‚É—ˆ‚ĉº‚³‚èAƒ|ƒXƒ^[ƒZƒbƒVƒ‡ƒ“‚Ì2ŽžŠÔ‚Í‚ ‚Á‚Æ‚¢‚€ŠÔ‚ɏI—¹‚µ‚Ä‚µ‚Ü‚¢‚Ü‚µ‚œB ƒ|ƒXƒ^[ƒZƒbƒVƒ‡ƒ“‚Ì‚ ‚ƁAæŒŽ‚ÌISSPIC2019—‹à‘ò‚Å’m‚荇‚Á‚œƒxƒ‹ƒM[^ƒ‚ƒ“ƒX‘å‚ÌN.ƒuƒŠƒ^ƒ“æ¶‚̐V‚µ‚¢ƒCƒ[ƒWƒ“ƒOƒvƒ‰ƒYƒ}f’f–@‚ÉŠÖ‚·‚鏵‘ҍu‰‰iŽÊ^7j‚𒮍u‚³‚¹‚Ä’ž‚«AƒuƒŠƒ^ƒ“æ¶‚ɁuSee you next time!v‚Ì‚²ˆ¥ŽA‚ð‚³‚¹‚Ä’ž‚¢‚œ‚Æ‚±‚낣A1”‘2“ú‚ÌŽD–y’eŠÛo’£‚Ì‹A“r‚ɂ‚¢‚œŽŸ‘æ‚Å‚·B ŽD–yo’£’†Ah”‘æƒzƒeƒ‹‚©‚ç–k‘傪‹ß‚©‚Á‚œ‚̂ŁA‰ù‚©‚µ‚³‚Ì‚ ‚܂菭‚µ‘«‚ðL‚΂³‚¹‚Ä’ž‚«‚Ü‚µ‚œBžŸ‚Ì‘å–Ø¶‚€—ΖL‚©‚ȁA‚±‚ñ‚ȂɂàŒb‚܂ꂜƒLƒƒƒ“ƒpƒX‚́A“ú–{‚ł́u–k‘åˆÈŠO‚ɂ͐â‘΂ɂ ‚肊‚È‚¢v‚ƍĊm”F‚µ‚œŽŸ‘æ‚Å‚·B ‚¿‚Ȃ݂ɖk‘å\“à‚̃Nƒ‰[ƒN”ŽŽm‘œ‚́A—rƒP‹u‚Ì—L–Œ‚È‘åŽuŽw‚·—§‘œ‚ł͂Ȃ­A‹¹‘œ‚Å‚·B‚Ü‚œAÌ‚š¢˜b‚ɂȂÁ‚œ‰ž—p“d‹CŒ€‹†Ši’ʏ́F‰ž“dŒ€j‚́A¡‚ÍŽ•Šw•”‚Ì’“ŽÔê‚ɂȂÁ‚Ä‚¢‚Ü‚µ‚œB‚š‰ÔŒ©‚âƒWƒ“ƒMƒXƒJƒ““ç‚ð‚â‚Á‚Ä‚à‚ç‚Á‚œ‘’낪‰ù‚©‚µ‚©‚Á‚œ‚Å‚·B ‹Œ‰ž“dŒ€‚͍¡‚Í“dŽq‰ÈŠwŒ€‹†Š‚Æ–ŒÌ‚ð•Ï‚Š’á‰·‰ÈŠwŒ€‹†Š‚âG”}‰ÈŠwŒ€‹†Š‹ß‚­‚Ì‘åŠw\“à–k‰œ‚Ì‹æˆæ‚Ɉړ]‚µ‚Ä‚š‚èA•à‚­‚ɂ͂¿‚å‚Á‚Æ‘å•ςȋ——£‚ÆŽv‚í‚ꂜ‚̂ō¡‰ñ‚ÍŒ©‚ɍs‚©‚ž‚É‹A‚è‚Ü‚µ‚œiH‚̉ž—p•š—Šw‰ï‚ŁA‹ß‚­9ŒŽ‚ɍĂіk‘å‚ð–K‚˂邱‚ƂɂȂé‚̂ŁA‚»‚̂Ƃ«‰ü‚߂ĎUô‚µ‚Ă݂悀‚ÆŽv‚¢‚Ü‚·jB ¡‰ñ‚̍‘Û‰ï‹c‚àAæŒŽ‚Ì‹à‘ò‚̍‘Û‰ï‹c‚Ɉø‚«‘±‚«’eŠÛo’£‚ƂȂÁ‚Ä‚µ‚Ü‚¢‚Ü‚µ‚œ‚ªAƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æ¶‚Æ‹c˜_‚·‚é‹Md‚È‹@‰ï‚𓟂ç‚ꂜ‚±‚ƁA‚È‚ç‚тɃuƒŠƒ^ƒ“æ¶‚ɍĉ‚é‹@‰ï‚𓟂ç‚ꂜ‚±‚ƁA‘å•Ï—LˆÓ‹`‚È‚à‚̂ƂȂè‚Ü‚µ‚œB Œ€‹†”­•\‚É‚²‹Š—Í’ž‚¢‚œ‹€“¯Œ€‹†ŽÒ‚ÌŠF—l‚ɁAŒä—ç\‚µã‚°‚Ü‚·B

PO16PM-026:uTime-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputteringvi”­•\ŽÒF›‰•ûj






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FS2-4P :uDelayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titaniumvi”­•\ŽÒF›‰•ûj






(2019”N6ŒŽ17“ú‹Lj

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(2019”N6ŒŽ11“ú‹Lj

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(2019”N6ŒŽ10“ú‹Lj

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(2019”N4ŒŽ23“ú‹Lj

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(2019”N2ŒŽ24“ú‹Lj

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(2019”N2ŒŽ12“ú‹Lj

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(2018”N8ŒŽ27“ú‹Lj

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(2018”N7ŒŽ21“ú‹Lj

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(2018”N7ŒŽ8“ú‹Lj

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(2018”N5ŒŽ22“ú‹Lj

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(2018”N4ŒŽ13“ú‹Lj


Top Page & What's New 2017

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(2018”N3ŒŽ26“ú‹Lj

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(2018”N3ŒŽ9“ú‹Lj

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(2018”N3ŒŽ3“ú‹Lj

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