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Top Page & What's New 2023

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"Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium"
Jpn. J. Appl. Phys.(JJAP) Special Issue "Plasma Processing (ICRP2022)", 62, SL1008 (7 pages), 2023.
DOI:10.35848/1347-4065/acce42

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HW6.00076:uAn optical emission spectroscopic study of deep oscillation magnetron sputtering of titaniumvi”­•\ŽŌF‰ĄŽRj








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"Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium"
Journal of Applied Physics, 131(24), 243301 (7 pages), 2022
DOI:10.1063/5.0089592

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Ķ1:J. T. Gudmundsson et al., J. Vac. Sci. Tecnol. A 30(3), 030801 (2012).
Ķ2:M. Sanekata et al. Plasma 4(2), pp.269-280 (2021).
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“ú–{Žŋ—Ę•ŠÍŠw‰ïŽ (Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan), 70(1), pp.30-35, 2022
DOI:10.5702/massspec.S22-06

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"Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)"
Plasma, 4(2), pp.269-280, 2021
DOI:10.3390/plasma4020018

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"Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)"
Plasma, 4(2), pp.239-251, 2021
DOI:10.3390/plasma4020016

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"Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering of titanium"
Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 59 SHHB05 (6 pages), 2020
DOI:10.35848/1347-4065/ab71de

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The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)(‘æ34‰ņ“d—Ģ‹C‘ĖŒŧÛ‘Û‰ï‹ciXXXIV ICPIGj/ ‘æ10‰ņ”―‰žŦƒvƒ‰ƒYƒ}‘Û‰ï‹ciICRP-10) —ŽD–yŽs‹ģˆį•ķ‰ŧ‰ïŠŲj‚Å‚ĖŒĪ‹†”­•\‚Ė‚―‚ß7ŒŽ15“úiŒŽjA16“ú(‰Î)‚ÆŽD–y‚ɏo’Ģ‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚Ŧ‚Ü‚ĩ‚―B ŽD–y‚É’…‚Ē‚―‰“úAHiPIMS‚ĖŒĪ‹†‚Å’N‚ā‚Š•K‚ļˆø—p‚·‚éuHiPIMS‚Ėmap}v‚ð•`‚Ē‚―‘ā‚ðŽ·•M‚ģ‚ę‚―’˜–ž‚ČƒAƒCƒXƒ‰ƒ“ƒh‘å^ƒXƒEƒF[ƒfƒ“‰Ī—§H‰Č‘å‚ĖJ.T.ƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“(Prof. Gudmundsson)æķŽĐ‚į‚Šƒ|ƒXƒ^[”­•\‚ð‚ģ‚ę‚Ä‚Ē‚―‚Ė‚ŁiŽĘ^3jAŽĐ•Š‚―‚ŋ‚ĖŒĪ‹†ƒOƒ‹[ƒv‚ōĄ˜b‘č‚Æ‚Č‚Á‚Ä‚Ē‚éŽĐŒČƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒO‚ƃKƒXƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚ɂ‚Ē‚ÄHiPIMS‚Ė‘Ũ“l‚―‚éæķ‚É’žÚ‹^–â‚ð‚ĻŽf‚Ē‚Å‚Ŧ‚éK‰^‚Í‚Ü‚―‚Æ‚Č‚Ē‚ÆŽv‚ĒA‚Ē‚ë‚Ē‚ë‚ƃvƒŠƒ~ƒeƒBƒu‚Č‚ēŽŋ–â‚ð‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚Ŧ‚Ü‚ĩ‚―B ƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æķ‚́AĄ‰ņ‚Ė”­•\‚ŁuHiPIMS‚Ėmap}v‚Ɉø‚Ŧ‘ą‚ŦAV‚―‚ɁuƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚Ėmap}v‚ð’ņˆÄ‚ģ‚ęAŽĐŒČƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒO—Ķ‚Ė‘å‚Ŧ‚ģ‚ɉž‚ķ‚―ƒ^[ƒQƒbƒg‚ĖƒXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO“ÁŦ‚ðˆę–Ú—Ä‘R‚Ђ‰æŠú“I‚Č‘Š}‚Å•\‚ŧ‚Ī‚Æ‚ģ‚ę‚Ä‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B ‚ą‚Ė“ú‚́AŽĐ•Š‚―‚ŋ‚ĖŒĪ‹†ƒOƒ‹[ƒv‚ĖŽĀŒą‚Å•ú“d“d—Ž‚Ė‘‰Á‚Æ‚Æ‚ā‚ÉArƒCƒIƒ“‚Ė‹­“xiƒCƒIƒ“‹­“x‚Ļ‚æ‚Ņ”­Œõ‹­“xj‚Š‘‚·‚ą‚ƂɃXƒpƒbƒ^ƒŠƒ“ƒOƒŠƒTƒCƒNƒŠƒ“ƒO‚ŠŠÖŒW‚ĩ‚Ä‚Ē‚é‚Đ‚ā‚ĩ‚ę‚Č‚ĒA‚Æ‚Ē‚ĪŽĐ•Š‚―‚ŋ‚Ėl‚Ķ‚ðƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æķ‚É‚Ļ˜b‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚ŦAu‚š‚ЁA—‚“ú‚ĖŽĐ•Š‚ĖŒĪ‹†”­•\‚ð’Ū‚Ŧ‚É—ˆ‚Ä‚­‚ū‚ģ‚ĒIv‚Æ‚ĻŠč‚Ē‚ĩ‚―ŽŸ‘æ‚Å‚·B —‚“úAŽĐ•Š‚Ėƒ|ƒXƒ^[”­•\‚ɃOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æķ‚Í—ˆ‚Ä‚­‚ū‚ģ‚čA30•Š‹ß‚­‚ā‚Ļ˜b‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚Ŧ‚Ü‚ĩ‚―i‘Š•Ï‚í‚į‚ļŽĐ•Š‚ĖŒęŠw—͂͂ЂĮ‚Ē‚ā‚Ė‚Å‚·‚ŠAƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æķ‚Í‚ŧ‚ņ‚ČŽĐ•Š‚É‚ā’š”J‚É‚Ļ˜b‚ĩ‚­‚ū‚ģ‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B―‚ÉŠīŽÓI)B–Ģ—Í“I‚ÅŽĶīˆė‚ę‚é‚ē•Œū‚ð‘―”‚Ļ—^‚Ķ‚­‚ū‚ģ‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B‚ ‚č‚Š‚Æ‚Ī‚ē‚ī‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B ‚ŧ‚Ė‘ž‚É‚ā‘“āŠO‚ð–â‚í‚ļ‘―”‚Ėæķ‚Š‚Ļ˜b‚ð•·‚Ŧ‚É—ˆ‚ĉš‚ģ‚čAƒ|ƒXƒ^[ƒZƒbƒVƒ‡ƒ“‚Ė2ŽžŠÔ‚Í‚ ‚Á‚Æ‚Ē‚ĪŠÔ‚ɏI—đ‚ĩ‚Ä‚ĩ‚Ü‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B ƒ|ƒXƒ^[ƒZƒbƒVƒ‡ƒ“‚Ė‚ ‚ƁAæŒŽ‚ĖISSPIC2019—‹ā‘ō‚Å’m‚č‡‚Á‚―ƒxƒ‹ƒM[^ƒ‚ƒ“ƒX‘å‚ĖN.ƒuƒŠƒ^ƒ“æķ‚ĖV‚ĩ‚ĒƒCƒ[ƒWƒ“ƒOƒvƒ‰ƒYƒ}f’f–@‚ÉŠÖ‚·‚éĩ‘Ōu‰‰iŽĘ^7j‚ð’Ūu‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚ŦAƒuƒŠƒ^ƒ“æķ‚ɁuSee you next time!v‚Ė‚ēˆĨŽA‚ð‚ģ‚đ‚Ä’ļ‚Ē‚―‚Æ‚ą‚ë‚ŁA1”‘2“ú‚ĖŽD–y’eŠÛo’Ģ‚Ė‹A“r‚ɂ‚Ē‚―ŽŸ‘æ‚Å‚·B ŽD–yo’Ģ’†Ah”‘æƒzƒeƒ‹‚Đ‚į–k‘å‚Š‹ß‚Đ‚Á‚―‚Ė‚ŁA‰ų‚Đ‚ĩ‚ģ‚Ė‚ ‚Ü‚č­‚ĩ‘Ŧ‚ðL‚΂ģ‚đ‚Ä’ļ‚Ŧ‚Ü‚ĩ‚―Bžū‚Ė‘å–ؐķ‚Ī—ΖL‚ЂȁA‚ą‚ņ‚Č‚É‚āŒb‚Ü‚ę‚―ƒLƒƒƒ“ƒpƒX‚́A“ú–{‚ł́u–k‘åˆČŠO‚ɂ͐â‘΂ɂ ‚č‚Ķ‚Č‚Ēv‚ƍĊm”F‚ĩ‚―ŽŸ‘æ‚Å‚·B ‚ŋ‚Č‚Ý‚É–k‘å\“ā‚ĖƒNƒ‰[ƒN”ŽŽm‘œ‚́A—rƒP‹u‚Ė—L–ž‚Č‘åŽuŽw‚·—§‘œ‚Å‚Í‚Č‚­A‹đ‘œ‚Å‚·B‚Ü‚―AĖ‚ĻĒ˜b‚É‚Č‚Á‚―‰ž—p“d‹CŒĪ‹†Ši’ʏĖF‰ž“dŒĪj‚́AĄ‚ÍŽ•Šw•”‚Ė’“ŽÔę‚É‚Č‚Á‚Ä‚Ē‚Ü‚ĩ‚―B‚Ļ‰ÔŒĐ‚âƒWƒ“ƒMƒXƒJƒ““į‚ð‚â‚Á‚Ä‚ā‚į‚Á‚―‘’ë‚Š‰ų‚Đ‚ĩ‚Đ‚Á‚―‚Å‚·B ‹Œ‰ž“dŒĪ‚͍Ą‚Í“dŽq‰ČŠwŒĪ‹†Š‚Æ–žĖ‚ð•Ï‚Ķ’ቷ‰ČŠwŒĪ‹†Š‚âG”}‰ČŠwŒĪ‹†Š‹ß‚­‚Ė‘åŠw\“ā–k‰œ‚Ė‹æˆæ‚Ɉړ]‚ĩ‚Ä‚Ļ‚čA•ā‚­‚É‚Í‚ŋ‚å‚Á‚Æ‘å•Ï‚Č‹——Ģ‚ÆŽv‚í‚ę‚―‚Ė‚ōĄ‰ņ‚ÍŒĐ‚És‚Đ‚ļ‚É‹A‚č‚Ü‚ĩ‚―iH‚Ė‰ž—p•Ļ—Šw‰ï‚ŁA‹ß‚­9ŒŽ‚ɍĂŅ–k‘å‚ð–K‚Ë‚é‚ą‚Æ‚É‚Č‚é‚Ė‚ŁA‚ŧ‚Ė‚Æ‚Ŧ‰ü‚ß‚ÄŽUô‚ĩ‚Ä‚Ý‚æ‚Ī‚ÆŽv‚Ē‚Ü‚·jB Ą‰ņ‚Ė‘Û‰ï‹c‚āAæŒŽ‚Ė‹ā‘ō‚Ė‘Û‰ï‹c‚Ɉø‚Ŧ‘ą‚Ŧ’eŠÛo’Ģ‚Æ‚Č‚Á‚Ä‚ĩ‚Ü‚Ē‚Ü‚ĩ‚―‚ŠAƒOƒhƒ€ƒ“ƒhƒbƒ\ƒ“æķ‚Æ‹c˜_‚·‚é‹Md‚Č‹@‰ï‚ð“ū‚į‚ę‚―‚ą‚ƁA‚Č‚į‚Ņ‚ɃuƒŠƒ^ƒ“æķ‚ɍĉ‚é‹@‰ï‚ð“ū‚į‚ę‚―‚ą‚ƁA‘å•Ï—LˆÓ‹`‚Č‚ā‚Ė‚Æ‚Č‚č‚Ü‚ĩ‚―B ŒĪ‹†”­•\‚É‚ē‹Ķ—Í’ļ‚Ē‚―‹Ī“ŊŒĪ‹†ŽŌ‚ĖŠF—l‚ɁAŒä—į\‚ĩã‚°‚Ü‚·B

PO16PM-026:uTime-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputteringvi”­•\ŽŌF›‰•ûj






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FS2-4P :uDelayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titaniumvi”­•\ŽŌF›‰•ûj






(2019”N6ŒŽ17“ú‹Lj

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