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Achievements 2022

学会発表・Presentations

2.11th International Conference on Reactive Plasmas / 2022 Gaseous Electronics Conference(ICRP-11 / GEC2022)(2022年10月3日−7日@仙台国際会議場), 発表予定
 

1.第83回応用物理学会秋季学術講演会(2022年9月23日@Zoomによるオンライン/東北大学)
「深振動マグネトロンスパッタリングのパルス設計とプラズマ発光分光計測」(23a-A307-3)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4) 〇横山 英佐(1)、永井 友樹(1)、筒井 海太(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、戸名 正英(2)、山本 宏晃(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

学術論文・Papers

1. M. Sanekata*, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu
"Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium", J. Appl. Phys., 131(24), 243301 (7 pages), 2022.
DOI:10.1063/5.0089592
 

国際会議録・Proceedings

1.An optical emission spectroscopic study of deep oscillation magnetron sputtering of titanium
in Proceedings of ICRP-11/GEC 2022 (11th International Conference on Reactive Plasmas / 2022 Gaseous Electronics Conference), Sendai, Japan, 3-7 October 2022, (2 pages), (submitted 10 June 2022).
E. Yokoyama, M. Sanekata, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto,K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, and F. Misaizu
 

外部研究補助金・Fundings

1.2022年度 日本学術振興会「科学研究費 基盤研究(C)」採択(継続/研究代表者)


Achievements 2021

学会発表・Presentations

5.第69回応用物理学会春季学術講演会(2022年3月23日@Zoomによるオンライン/青山学院大学)
「深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討」(23a-E103-9)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4) 〇横山 英佐(1)、小野 洋平(1)、坂本 大樹(1)、高山 昇大(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、戸名 正英(2)、山本 宏晃(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

4.The 3rd International Symposium for Color Science and Art 2022(2022年3月12日@ONLINE)
「Characterization of colored graphite intercalation compounds under an inert atmosphere」(Oral Presentation 9)
Tokyo Polytechnic University M. Matsumoto, M. Ohshima, K. Yamada, T. Yukiya, and M. Sanekata
 

3.第48回炭素材料学会年会(2021年12月3日@オンライン開催)
「黒鉛層間化合物の色標本の作製(2)」(3L08)
東京工芸大工 〇松本 里香、大嶋 正人、山田 勝実、行谷 時男、實方 真臣
 

2.第82回応用物理学会秋季学術講演会(2021年9月10日@Zoomによるオンライン/名城大学)
「深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測」(10p-N322-2)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4) 〇横山 英佐(1)、小野 洋平(1)、高山 昇大(1)、坂本 大樹(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、戸名 正英(2)、平田 直之(2)、山本 宏晃(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

1.第82回応用物理学会秋季学術講演会(2021年9月10日@Zoomによるオンライン/名城大学)
「高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電時間解析」(10p-N322-1)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4) 〇實方 真臣(1)、西田 寛(1)、渡部 達也(1)、中込 雄基(1)、平井 芳拓(2)、西宮 信夫(1)、戸名 正英(2)、平田 直之(2)、山本 宏晃(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

学術論文・Papers

3. 實方 真臣*, 塚本 恵三, 美齊津 文典
"高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発",
日本質量分析学会誌, 70(1), pp.30-35, 2022.
DOI:10.5702/massspec.S22-06
 

2. M. Sanekata*, H. Nishida, Y. Nakagomi, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, N. Hirata, K. Tsukamoto, K. Ohshimo, F. Misaizu, and K. Fuke
"Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)",
Plasma, 4(2), pp.269-280, 2021.
DOI:10.3390/plasma4020018
 

1. M. Sanekata*, H. Nishida, T. Watabe, Y. Nakagomi, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, N. Hirata, K. Tsukamoto, K. Ohshimo, F. Misaizu, and K. Fuke
"Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)", Plasma, 4(2), pp.239-251, 2021.
DOI:10.3390/plasma4020016
 

国際会議録・Proceedings

1.Characterization of colored graphite intercalation compounds under an inert atmosphere
in Proceedings of The 3rd International Symposium for Color Science and Art 2022, PDF of Proceedings.
Rika Matsumoto, Masato Ohshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, and Masaomi Sanekata
 

外部研究補助金・Fundings

2.令和3年度 新あいち創造研究開発補助採択(株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部)

1.2021年度 日本学術振興会「科学研究費 基盤研究(C)」採択(新規/研究代表者)


Achievements 2020

学会発表・Presentations

5.The 2nd International Symposium for Color Science and Art 2020-2021(2021年3月19日@ONLINE)
「Preparation of Color Samples of Graphite Intercalation Compounds: Analysis and Use of the Colors」(Oral Presentation 16)
Tokyo Polytechnic University M. Matsumoto, M. Ohshima, K. Yamada, T. Yukiya, and M. Sanekata
 

4.第68回応用物理学会春季学術講演会(2021年3月18日@Zoomによるオンライン開催)
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたDeep Oscillation Magnetron Sputtering(DOMS)のイオン組成分析」(18p-Z17-14)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、豊田理研(3)、東北大院理(4) 〇中込 雄基(1)、西田 寛(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、山本 宏晃(2)、平田 直之(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

3.第47回炭素材料学会年会(2020年12月9日@オンライン開催)
「黒鉛層間化合物の色標本の作製」(1L14)
東京工芸大工 ○松本 里香, 大嶋 正人, 山田 勝実, 行谷 時男, 實方 真臣
 

2.第81回応用物理学会秋季学術講演会(2020年9月8日@Zoomによるオンライン開催)
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた高出力パルスマグネトロンスパッタリングのイオン組成分析」(8p-Z21-2)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、豊田理研(3)、東北大院理(4) 中込 雄基(1)、西田 寛(1)、西宮 信夫(1)、〇實方 真臣(1)、山本 宏晃(2)、平田 直之(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、冨宅 喜代一(3)、大下 慶次郎(4)、美齊津 文典(4)
 

1.第68回質量分析総合討論会(2020年5月11日@グランキューブ大阪)
オーラルセッション9:質量分析を基盤とする分子科学
「高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発」(2C-O9-1530) ※新型コロナウィルス感染拡大防止のため講演会の現地開催中止によるみなし発表
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇實方 真臣(1)、中込 雄基(1)、平山 睦大(1)、渡部 達也(1)、西田 寛(1)、西宮 信夫(1)、 戸名 正英(2)、平田 直之(2)、山本 宏晃(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

学術論文・Papers

0.なし
 

国際会議録・Proceedings

1.Preparation of Color Samples of Graphite Intercalation Compounds: Analysis and Use of the Colors
in Proceedings of The 2nd International Symposium for Color Science and Art 2020-2021
DOI:10.11454/photogrst.83.128.
日本写真学会誌, 83(2), pp.128-129, 2020.
Rika Matsumoto, Masato Ohshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, and Masaomi Sanekata
 

外部研究補助金・Fundings

1.令和2年度 安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助金(潟Aヤボ/研究代表、東北大学理学研究科、豊田理化学研究所との4者共同研究事業)


Achievements 2019

学会発表・Presentations

4.第67回応用物理学会春季学術講演会(2020年3月15日@上智大学四谷キャンパス)
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた変調パルス電力マグネトロンスパッタリングの成分分析法の開発」(15a-PB2-2) ※新型コロナウィルス感染拡大防止のため講演会の開催中止によるみなし発表
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇中込 雄基(1)、平山 睦大(1)、渡部 達也(1)、兼行 亮輔(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

3.第80回応用物理学会秋季学術講演会(2019年9月20日@北海道大学札幌キャンパス)
「変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス/パワー制御とプラズマ発光分光」(20a-B11-6)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇中込 雄基(1)、渡部 達也(1)、平山 睦大(1)、兼行 亮輔(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

2.The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)(2019年7月16日@札幌市教育文化会館)
「Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering」(PO16PM-026)
Ayabo Corporation(1)、Tohoku University(2)、Tokyo Polytechnic University(3) Keizo Tsukamoto(1,2)、 Tetsuro Tamura(1P)、Hiromi Matsusaki(1)、Masahide Tona(2)、 Hiroaki Yamamoto(2)、 Yoshihiro Hirai(1,3)、 Hiroshi Nishida(3)、Yuki Nakagomi(3)、 Nobuo Nishimiya(3)、 Masaomi Sanekata(3)、 Keijiro Ohshimo(1)、 Kiichrou Koyasu(1), and Fuminori Misaizu(1)
 

1.The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes:ISSP2019(2019年6月13日@金沢工業大学扇が丘キャンパス)
「Delayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titanium」(FS2-4P)
Tokyo Polytechnic University(1)、Ayabo Corporation(2)、Tohoku University(3) Hiroshi Nishida(1)、Yoshihiro Hirai(1, 2)、Yuki Nakagomi(1)、Nobuo Nishimiya(1)、Masaomi Sanekata(1)、 Hiroaki Yamamoto(2)、Masahide Tona(2)、Keizo Tsukamoto(2)、Keijiro Ohshimo(3)、and Fuminori Misaizu(3)
 

学術論文・Papers

1.K. Tsukamoto, T. Tamura, H. Matsusaki, M. Tona, H. Yamamoto, Y. Nakagomi, H. Nishida, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Sanekata*, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu*
"Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering of titanium"
Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 59, SHHB05 (6 pages), 2020.
DOI:10.35848/1347-4065/ab71de
 

国際会議録・Proceedings

2.Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering
in Proceedings of The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), pp.1-2, PO16PM-026, 2019
K. Tsukamoto, T. Tamura, H. Matsusaki, M. Tona, H. Yamamoto, Y. Hirai, H. Nishida, Y. Nakagomi, N. Nishimiya, M. Sanekata, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu

1.Delayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titanium
in Proceedings of The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2019), pp.113-116, 2019 (ISSN 0917-2440)
Hiroshi Nishida, Yoshihiro Hirai, Yuki Nakagomi, Nobuo Nishimiya, Masaomi Sanekata, Hiroaki Yamamoto, Masahide Tona, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, and Fuminori Misaizu
 

外部研究補助金・Fundings

1.平成31年度 安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助金(潟Aヤボ/研究代表、東北大学理学研究科との共同研究事業)


Achievements 2018-2017

学会発表・Presentations

6.第66回応用物理学会春季学術講演会(2019年3月12日@東京工業大学大岡山キャンパス)
「Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電とプラズマ発光特性」(12a-PB1-5)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 西田 寛(1)、〇平井 芳拓(1)、中込 雄基(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

5.第66回応用物理学会春季学術講演会(2019年3月12日@東京工業大学大岡山キャンパス)
「高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ/マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測」(12a-PB1-6)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇中込 雄基(1)、平井 芳拓(1)、西田 寛(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

4.第79回応用物理学会秋季学術講演会(2018年9月20日@名古屋国際会議場)
「変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測」(20p-PA5-10)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇中込 雄基(1)、西田 寛(1)、平井 芳拓(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

3.第79回応用物理学会秋季学術講演会(2018年9月20日@名古屋国際会議場)
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光種の励起温度」(20p-PA5-9)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇西田 寛(1)、平井 芳拓(1)、中込 雄基(1)、西宮 信夫(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

2.第12回分子科学討論会(2018年9月11日@福岡国際会議場)
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の分光計測」(2P005)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇實方 真臣(1)、西田 寛(1)、平井 芳拓(1)、中込 雄基(1)、西宮 信夫(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

1.第65回応用物理学会春季学術講演会(2018年3月17日@早稲田大学西早稲田キャンパス)
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の放電モード特性および放電電力特性」(17p-C204-6)
東京工芸大工(1)、潟Aヤボ(2)、東北大院理(3) 〇西田 寛(1)、松田 広一(1)、正路 智紀(1)、市川 美治(1)、大城 匠(1)、實方 真臣(1)、 山本 宏晃(2)、戸名 正英(2)、塚本 恵三(2)、中野 元善(3)、大下 慶次郎(3)、美齊津 文典(3)
 

外部研究補助金・Fundings

2.平成30年度 新あいち創造研究開発補助(株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部)

1.平成29年度 新あいち創造研究開発補助(株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部)

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