Achievements 2024

学会発表・Presentations

１．準備中
　

学術論文・Papers

1．準備中
　

国際会議録(国内講演録/依頼)・Proceedings

１.準備中
　

外部研究補助金・Fundings

１．2024年度日本学術振興会「科学研究費基盤研究(C)」期間延長（継続／研究代表者）

Achievements 2023

学会発表・Presentations

５．第71回応用物理学会春季学術講演会（2024年3月24日＠東京都市大学でポスター発表）
「（レーザー誘起蛍光法を用いた）高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断」(24p-P08-9)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇中川悠幹(1)、小林宏輝(1)、横山英佐(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

４．第71回応用物理学会春季学術講演会（2024年3月24日＠東京都市大学でポスター発表）
「深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明」(24p-P08-8)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、堀内楓(1)、高橋勇成(1)、中川悠幹(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

３．第71回応用物理学会春季学術講演会（2024年3月24日＠東京都市大学でポスター発表）
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発」(24p-P08-7)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇小林宏輝(1)、中川悠幹(1)、横山英佐(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

２．第84回応用物理学会秋季学術講演会（2023年9月23日＠熊本城ホール）
「時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析」(23p-A301-8)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、堀内楓(1)、高橋勇成(1)、中川悠幹(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

１．【依頼講演】日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第175回定例研究会「プラズマプロセスの見える化に貢献する最新プラズマ診断技術の動向」（2023年9月13日ハイブリッド＠機械振興会館(港区芝公園)）
「飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望」
實方真臣(東京工芸大学)
　

学術論文・Papers

1． E. Yokoyama, M. Sanekata^*, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, and F. Misaizu
"Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium", Jpn. J. Appl. Phys.(JJAP) Special Issue "Plasma Processing (ICRP2022)", 62, SL1008 (7 pages), 2023.
DOI:10.35848/1347-4065/acce42
　

国際会議録(国内講演録/依頼)・Proceedings

１.「飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望」, in SPUTTERING & PLASMA PROCESSES（日本表面真空学会SP部会定期研究会講演予稿集）, pp.11-19 (9 pages), 38(1), 2023. 實方真臣
　

外部研究補助金・Fundings

３．令和5年度　安城市研究開発推進事業補助金採択（新規／株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部）

２．令和4年度　あいち中小企業応援ファンド新事業展開応援助成金採択（継続／株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部）

１．2023年度日本学術振興会「科学研究費基盤研究(C)」採択（継続／研究代表者）

Achievements 2022

学会発表・Presentations

４．第70回応用物理学会春季学術講演会（2023年3月18日＠Zoomによるオンライン/上智大学）
「間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測」(18p-A205-3)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、永井友樹(1)、筒井海太(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

３．The 4th International Symposium for Color Science and Art 2023（2023年3月4日＠東京工芸大学中野キャンパス＆オンライン）
「Preparation of color samples of graphite intercalation compounds」(Oral Presentation 10)
Tokyo Polytechnic University　M. Matsumoto, M. Ohshima, K. Yamada, T. Yukiya, and M. Sanekata
　

２．11th International Conference on Reactive Plasmas / 2022 Gaseous Electronics Conference（ICRP-11 / GEC2022）（2022年10月3日－7日＠仙台国際会議場）
「An optical emission spectroscopic study of deep oscillation magnetron sputtering of titanium」(HW6.00076)
Tokyo Polytechnic University(1), Ayabo Corporation(2), Kobe University(3), Tohoku University(4)　Eisuke Yokoyama(1), Masaomi　Sanekata(1), Nobuo Nishimiya(1), Masahide Tona(2), Hiroaki Yamamoto(2), Keizo Tsukamoto(2), Kiyokazu Fuke(3), Keijiro Ohshimo(4), and Fuminori Misaizu(4)
　

１．第83回応用物理学会秋季学術講演会（2022年9月23日＠Zoomによるオンライン/東北大学）
「深振動マグネトロンスパッタリングのパルス設計とプラズマ発光分光計測」(23a-A307-3)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、永井友樹(1)、筒井海太(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

学術論文・Papers

1． M. Sanekata^*, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu
"Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium", J. Appl. Phys., 131(24), 243301 (7 pages), 2022.
DOI:10.1063/5.0089592
　

国際会議録・Proceedings

２．Preparation of color samples of graphite intercalation compounds
in Proceedings of The 4th International Symposium for Color Science and Art 2023, pp.32-33, 2023, PDF of Proceedings.
Rika Matsumoto, Masato Ohshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, and Masaomi Sanekata
　

１．An optical emission spectroscopic study of deep oscillation magnetron sputtering of titanium
in Proceedings of ICRP-11/GEC 2022 (11th International Conference on Reactive Plasmas / 2022 Gaseous Electronics Conference), pp.1-2, HW6.00076, 2022.
E. Yokoyama, M. Sanekata, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto,K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, and F. Misaizu
　

外部研究補助金・Fundings

２．令和4年度　あいち中小企業応援ファンド新事業展開応援助成金採択（株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部）

１．2022年度日本学術振興会「科学研究費基盤研究(C)」採択（継続／研究代表者）

Achievements 2021

学会発表・Presentations

５．第69回応用物理学会春季学術講演会（2022年3月23日＠Zoomによるオンライン/青山学院大学）
「深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討」(23a-E103-9)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、小野洋平(1)、坂本大樹(1)、高山昇大(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

４．The 3rd International Symposium for Color Science and Art 2022（2022年3月12日＠ONLINE）
「Characterization of colored graphite intercalation compounds under an inert atmosphere」(Oral Presentation 9)
Tokyo Polytechnic University　M. Matsumoto, M. Ohshima, K. Yamada, T. Yukiya, and M. Sanekata
　

３．第48回炭素材料学会年会（2021年12月3日＠オンライン開催）
「黒鉛層間化合物の色標本の作製（２）」(3L08)
東京工芸大工　〇松本里香、大嶋正人、山田勝実、行谷時男、實方真臣
　

２．第82回応用物理学会秋季学術講演会（2021年9月10日＠Zoomによるオンライン/名城大学）
「深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測」(10p-N322-2)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇横山英佐(1)、小野洋平(1)、高山昇大(1)、坂本大樹(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、戸名正英(2)、平田直之(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

１．第82回応用物理学会秋季学術講演会（2021年9月10日＠Zoomによるオンライン/名城大学）
「高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電時間解析」(10p-N322-1)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、神戸大(3)、東北大院理(4)　〇實方真臣(1)、西田寛(1)、渡部達也(1)、中込雄基(1)、平井芳拓(2)、西宮信夫(1)、戸名正英(2)、平田直之(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

学術論文・Papers

３．實方真臣^*, 塚本恵三, 美齊津文典
"高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発",
日本質量分析学会誌, 70(1), pp.30-35, 2022.
DOI:10.5702/massspec.S22-06
　

２． M. Sanekata^*, H. Nishida, Y. Nakagomi, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, N. Hirata, K. Tsukamoto, K. Ohshimo, F. Misaizu, and K. Fuke
"Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)",
Plasma, 4(2), pp.269-280, 2021.
DOI:10.3390/plasma4020018
　

1． M. Sanekata^*, H. Nishida, T. Watabe, Y. Nakagomi, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, N. Hirata, K. Tsukamoto, K. Ohshimo, F. Misaizu, and K. Fuke
"Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)", Plasma, 4(2), pp.239-251, 2021.
DOI:10.3390/plasma4020016
　

国際会議録・Proceedings

１．Characterization of colored graphite intercalation compounds under an inert atmosphere
in Proceedings of The 3rd International Symposium for Color Science and Art 2022, PDF of Proceedings.
Rika Matsumoto, Masato Ohshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, and Masaomi Sanekata
　

外部研究補助金・Fundings

２．令和3年度　新あいち創造研究開発補助採択（株式会社アヤボ、東北大学大学院理学研究科、東京工芸大学工学部）

１．2021年度日本学術振興会「科学研究費基盤研究(C)」採択（新規／研究代表者）

Achievements 2020

学会発表・Presentations

５．The 2nd International Symposium for Color Science and Art 2020-2021（2021年3月19日＠ONLINE）
「Preparation of Color Samples of Graphite Intercalation Compounds: Analysis and Use of the Colors」(Oral Presentation 16)
Tokyo Polytechnic University　M. Matsumoto, M. Ohshima, K. Yamada, T. Yukiya, and M. Sanekata
　

４．第68回応用物理学会春季学術講演会（2021年3月18日＠Zoomによるオンライン開催）
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたDeep Oscillation Magnetron Sputtering(DOMS)のイオン組成分析」(18p-Z17-14)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、豊田理研(3)、東北大院理(4)　〇中込雄基(1)、西田　寛(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、平田　直之(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

３．第47回炭素材料学会年会（2020年12月9日＠オンライン開催）
「黒鉛層間化合物の色標本の作製」(1L14)
東京工芸大工　○松本里香, 大嶋正人, 山田勝実, 行谷時男, 實方真臣
　

２．第81回応用物理学会秋季学術講演会（2020年9月8日＠Zoomによるオンライン開催）
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた高出力パルスマグネトロンスパッタリングのイオン組成分析」(8p-Z21-2)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、豊田理研(3)、東北大院理(4)　中込雄基(1)、西田　寛(1)、西宮信夫(1)、〇實方真臣(1)、山本宏晃(2)、平田　直之(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、冨宅喜代一(3)、大下慶次郎(4)、美齊津文典(4)
　

１．第68回質量分析総合討論会（2020年5月11日＠グランキューブ大阪）
オーラルセッション9：質量分析を基盤とする分子科学
「高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発」(2C-O9-1530)　※新型コロナウィルス感染拡大防止のため講演会の現地開催中止によるみなし発表
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇實方真臣(1)、中込雄基(1)、平山　睦大(1)、渡部　達也(1)、西田　寛(1)、西宮信夫(1)、戸名正英(2)、平田　直之(2)、山本宏晃(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

学術論文・Papers

０．なし
　

国際会議録・Proceedings

１．Preparation of Color Samples of Graphite Intercalation Compounds: Analysis and Use of the Colors
in Proceedings of The 2nd International Symposium for Color Science and Art 2020-2021
DOI:10.11454/photogrst.83.128.
日本写真学会誌, 83(2), pp.128-129, 2020.
Rika Matsumoto, Masato Ohshima, Katsumi Yamada, Tokio Yukiya, and Masaomi Sanekata
　

外部研究補助金・Fundings

１．令和2年度安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助金（㈱アヤボ/研究代表、東北大学理学研究科、豊田理化学研究所との4者共同研究事業）

Achievements 2019

学会発表・Presentations

４．第67回応用物理学会春季学術講演会（2020年3月15日＠上智大学四谷キャンパス）
「リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた変調パルス電力マグネトロンスパッタリングの成分分析法の開発」(15a-PB2-2)　※新型コロナウィルス感染拡大防止のため講演会の開催中止によるみなし発表
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇中込雄基(1)、平山　睦大(1)、渡部　達也(1)、兼行　亮輔(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

３．第80回応用物理学会秋季学術講演会（2019年9月20日＠北海道大学札幌キャンパス）
「変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス／パワー制御とプラズマ発光分光」(20a-B11-6)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇中込雄基(1)、渡部　達也(1)、平山　睦大(1)、兼行　亮輔(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

２．The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)（2019年7月16日＠札幌市教育文化会館）
「Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering」(PO16PM-026)
Ayabo Corporation(1), Tohoku University(2), Tokyo Polytechnic University(3)　Keizo Tsukamoto(1,2), Tetsuro Tamura(1P), Hiromi Matsusaki(1), Masahide Tona(2), Hiroaki Yamamoto(2), Yoshihiro Hirai(1,3), Hiroshi Nishida(3), Yuki Nakagomi(3), Nobuo Nishimiya(3), Masaomi Sanekata(3), Keijiro Ohshimo(1), Kiichrou Koyasu(1), and Fuminori Misaizu(1)
　

１．The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes:ISSP2019（2019年6月13日＠金沢工業大学扇が丘キャンパス）
「Delayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titanium」(FS2-4P)
Tokyo Polytechnic University(1)、Ayabo Corporation(2)、Tohoku University(3)　Hiroshi Nishida(1), Yoshihiro Hirai(1, 2), Yuki Nakagomi(1), Nobuo Nishimiya(1), Masaomi Sanekata(1), Hiroaki Yamamoto(2), Masahide Tona(2), Keizo Tsukamoto(2), Keijiro Ohshimo(3), and Fuminori Misaizu(3)
　

学術論文・Papers

１．K. Tsukamoto, T. Tamura, H. Matsusaki, M. Tona, H. Yamamoto, Y. Nakagomi, H. Nishida, Y. Hirai, N. Nishimiya, M. Sanekata^*, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu^*
"Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering of titanium"
Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 59, SHHB05 (6 pages), 2020.
DOI:10.35848/1347-4065/ab71de
　

国際会議録・Proceedings

２．Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high power pulsed magnetron sputtering
in Proceedings of The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), pp.1-2, PO16PM-026, 2019
K. Tsukamoto, T. Tamura, H. Matsusaki, M. Tona, H. Yamamoto, Y. Hirai, H. Nishida, Y. Nakagomi, N. Nishimiya, M. Sanekata, K. Ohshimo, K. Koyasu, and F. Misaizu

１．Delayed discharge characteristics in modulated pulsed power magnetron sputtering of titanium
in Proceedings of The 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2019), pp.113-116, 2019 (ISSN 0917-2440)
Hiroshi Nishida, Yoshihiro Hirai, Yuki Nakagomi, Nobuo Nishimiya, Masaomi Sanekata, Hiroaki Yamamoto, Masahide Tona, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, and Fuminori Misaizu
　

外部研究補助金・Fundings

１．平成31年度安城市ものづくり企業研究開発推進事業補助金（㈱アヤボ/研究代表、東北大学理学研究科との共同研究事業）

Achievements 2018-2017

学会発表・Presentations

６．第66回応用物理学会春季学術講演会（2019年3月12日＠東京工業大学大岡山キャンパス）
「Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電とプラズマ発光特性」(12a-PB1-5)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　西田寛(1)、〇平井芳拓(1)、中込雄基(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

５．第66回応用物理学会春季学術講演会（2019年3月12日＠東京工業大学大岡山キャンパス）
「高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ／マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測」(12a-PB1-6)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇中込雄基(1)、平井芳拓(1)、西田寛(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

４．第79回応用物理学会秋季学術講演会（2018年9月20日＠名古屋国際会議場）
「変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測」(20p-PA5-10)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇中込雄基(1)、西田寛(1)、平井芳拓(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

３．第79回応用物理学会秋季学術講演会（2018年9月20日＠名古屋国際会議場）
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光種の励起温度」(20p-PA5-9)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇西田寛(1)、平井芳拓(1)、中込雄基(1)、西宮信夫(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

２．第12回分子科学討論会（2018年9月11日＠福岡国際会議場）
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の分光計測」(2P005)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇實方真臣(1)、西田寛(1)、平井芳拓(1)、中込雄基(1)、西宮信夫(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　

１．第65回応用物理学会春季学術講演会（2018年3月17日＠早稲田大学西早稲田キャンパス）
「高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の放電モード特性および放電電力特性」(17p-C204-6)
東京工芸大工(1)、㈱アヤボ(2)、東北大院理(3)　〇西田寛(1)、松田広一(1)、正路智紀(1)、市川美治(1)、大城匠(1)、實方真臣(1)、山本宏晃(2)、戸名正英(2)、塚本恵三(2)、中野元善(3)、大下慶次郎(3)、美齊津文典(3)
　