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真空系

1.高出力パルスマグネトンスパッタリング源


2.リフレクトロン型飛行時間質量分析計


※これら1と2の装置は、国際宇宙ステーションばりに(?)超高真空用ゲートバルブにより連結されています。
 

光学系

1.パルスYAGレーザー


2.パルスYAGレーザー励起色素レーザー


3.パルスExcimerレーザー


4.波長掃引型25cm分光器


5.小型CCD分光器


6.膜厚測定器


 

その他

1.電子計測デバイス群(一部)


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