1.高出力パルスマグネトンスパッタリング源 2.リフレクトロン型飛行時間質量分析計 ※これら1と2の装置は、国際宇宙ステーションばりに(?)超高真空用ゲートバルブにより連結されています。
1.パルスYAGレーザー 2.パルスYAGレーザー励起色素レーザー 3.パルスExcimerレーザー 4.波長掃引型25cm分光器 5.小型CCD分光器 6.膜厚測定器
1.電子計測デバイス群(一部)