Main facilities

真空系

１．高出力パルスマグネトンスパッタリング源


２．リフレクトロン型飛行時間質量分析計


※これら１と２の装置は、国際宇宙ステーションばりに（？）超高真空用ゲートバルブにより連結されています。
　

光学系

１．パルスYAGレーザー


２．パルスYAGレーザー励起色素レーザー


３．パルスExcimerレーザー


４．波長掃引型25cm分光器


５．小型CCD分光器


６．膜厚測定器


　

その他

１．電子計測デバイス群（一部）